是指受到電子束激發(fā)的惰性氣體和鹵素氣體結合的混合氣體形成的分子向其基態(tài)躍遷時(shí)發(fā)射所產(chǎn)生的激光，通常都在紫外波段。準分子激光氣體是激光發(fā)生器的關(guān)鍵氣體，包含鹵素元素，并輔助一定比例的稀有氣體。通常的，準分子激光氣體是F2, He, Ne, Kr, Xe的混合物。

準分子激光器以其高光子能量所稱(chēng)著(zhù)，準分子激光器站在了尖端工業(yè)激光解決方案的最前沿。作為當今最有效、最可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表，準分子激光器有效地推進(jìn)了諸如半導體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機金屬沉淀、高溫超導、刻蝕、材料研究、汽車(chē)制造、生物醫療、光纖、鉆石打標設備及可替代能源等多種成長(cháng)型工業(yè)中的技術(shù)革新。